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Suzhou PASSIONIOT Intelligent Technology Co., Ltd.

Tel：+86 400 869 1228 / +86 134 5198 3657

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Web： www.passioniot.com

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Home 製品 半導体製造 シリコンウエハー記憶

ストッカー」

派迅のストッカーは、半導体クリーンルーム環境向けに特別に設計されており、POD/Foupなどのウェハキャリア向けの高度な保管および搬送ソリューションを提供します。最高速度2m/sを実現した高性能ストッカーで、効率的で安定した作業をサポートします。柔軟な構成には、人工インターフェイス、オーバーヘッド処理、RFID システムとの統合などのオプションがあります。このストッカーは、クラス100のクリーンルーム評価を維持しながら、さまざまな保管ニーズに対応できます。また、SEMI規格に準拠した精製装置を搭載しており、半導体製造用途に最適です。
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Features

· 高速運転：最大2m/sを実現します
· 設定可能なポート： 手動および自動処理に適した設定可能なポート
· 集積浄化システム： クリーンルーム環境に最適化されています
· 複数のキャリアをサポートする：POD/Foup ウェーハキャリアと互換性があります
· およびRFID id：追跡と監視を強化します